TFT-LCD彩膜品质运营模式的半自动化探究

摘要

目前,TFT-LCD行业中彩膜工厂品质运营模式主要依靠AOI和Repair设备进行微观缺陷的检出和修补,依靠Mura和Macro设备进行宏观缺陷的检出及判定.一个成熟的彩膜工厂中,宏观缺陷的NG比率约为0.012％,最终宏观检测一张基板的时间约为1 1 0秒,因此目前采用的宏观终检工序存在大量的时间和人力的可优化空间,如果能够通过技术手段优化以及运营模式创新,实现最终宏观检测抽检化,就能节约出一定的人力物力,达到精益生产的效果.作者提出一种新的高效的彩膜宏观品质运营模式,首先通过新算法的检讨使得Mura设备能够对“问题基板”进行初步的警报判定→“A”判定,然后通过更改最终宏观检测线CIM以及TRF的运营程序,使得仅有判“A”基板进入Macro设备进行“复查”,这种设计在不影响宏观品质检出的同时,既减少了设备的使用频率,延长了设备的寿命,又节约了大量的终检检片时间和人力成本.