使用软磁薄膜抑制共平面传输的射频噪声

摘要

文章介绍使用软磁材料薄膜抑制共平面传输的射频（0．1～20GHz）噪声技术与材料的试验验证。由集成化技术和器件可知，共平面传输系统由磁膜-聚酰亚胺膜—铜（cu）传输线一籽晶层（Cu／Ti）—玻璃基片组成。在本案产品中，信号线宽50μm，厚度3μm（特性阻抗为50Q）；用于抑制噪音的磁膜是CoPdA10，CoZrO和CoNoZr，它们采用射频溅射技术制备。每种磁膜的饱和磁感应强度约为10G。它们的各向异性场分别是230、89和60（oe），铁磁共振频率（FMR）分别是4.2，2．5和0．7（GHz）。由于磁膜存在铁磁共振损耗，故有磁膜的共平面传输线的功率损耗要远远大于无磁膜和存在非磁性膜的共平面线，这也就是软磁薄膜可以抑制共平面传输射频噪声的机制。