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于宝成; 王春梅;
华中科技大学机械学院,武汉·430073;
武汉化工学院计算机系;
激光测量; 误差补偿; 定位精度; 测量精度;
机译:基于二维激光全息标尺系统的高精度机床系统误差补偿的研究
机译:通过误差测量和使用激光干涉测量技术的误差补偿来提高多轴机床的精度
机译:使用白色光干涉测量刀具的测量和补偿超精密钻石转动自由形状表面
机译:超精密机床激光测量系统折射率补偿的新方法研究
机译:使用二维激光标尺系统的超精密机床动态运动误差补偿的研究。
机译:超精密车床表面测量探针的运动学误差补偿
机译:使用2D激光全息尺度系统研究高精度机床系统误差补偿研究
机译:设计和制造大型超精密机床。外国旅行报告,1990年8月23日至9月12日。
机译:双阶段光刻技术中的干涉测量系统误差补偿
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