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【2h】

A Study on Error Compensation on High Precision Machine Tool System Using a 2D Laser Holographic Scale System

机译：使用2D激光全息尺度系统研究高精度机床系统误差补偿研究

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Toru FUJIMORI; Kayoko TANIGUCHI; Chris ELLIS; Tojiro AOYAMA; Kazuo YAMAZAKI;
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年度 2012
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1. A Study on Error Compensation on High Precision Machine Tool System Using a 2D Laser Holographic Scale System [J] . Toru FUJIMORI, Kayoko TANIGUCHI, Chris ELLIS, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing . 2012,第6期

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2. A trial toward sub-100 nm motion error compensation of ultra-precision machine tool using on-machine metrology system with chromatic confocal probe [J] . Hao DUAN, Shinya MORITA, Takuya HOSOBATA, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing . 2021,第4期

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3. Error compensation on precision machine tool servo control system based on digital concave filter [J] . 王立松, 苏宝库, 张晶, 哈尔滨工业大学学报（英文版） . 2001,第004期

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4. Error Analysis and Parameter Compensation of a Laser Measurement System of an Ultra-precision Turning Machine [C] . X. Yang, Z.J. Yuan, S. Dong International conference on precision engineering;Sino-Japan joint seminar on ultraprecision technology;ICPE;SJSUT; 19960923-25;19960923-25;19960923-25;19960923-25; Shenyang(CN);Shenyang(CN);Shenyang(CN);Shenyang(CN) . 1996

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