面向固晶装备的光学定位控制系统设计

摘要

介绍了面向固晶装备的光学定位控制系统的工作原理,并阐述了其系统硬件设计方案和软件实现.阐述了其运动控制部分采用基于PCI总线的运动控制卡与工控机相结合的方案,分析了视觉定位模块、执行机构等辅助实现运动控制的原理,该系统具有高精度、高速度、人机交互性好等特点.本系统在实验室通过了实验验证.