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微机电中的摩擦特性与有序薄膜润滑

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摘要

微机电中的摩擦是造成微构件失效损坏的关键因素,指出微机电中的摩擦属于原子分子尺度上的力学行为,具有不同于宏观摩擦的新特性.基于目前的润滑技术,提出在材料表面制备LB膜、自组装膜(SAM)或分子沉积膜来改善摩擦、降低磨损、提高运行稳定性是一种有效的途径.

著录项

来源
《机械设计与制造》|2008年第2期|100-102|共3页
作者
刘庆玲; 翁海珊;
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作者单位

北京科技大学,北京,100083;

廊坊师范学院,廊坊,065000;

北京科技大学,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词
微机电系统; 摩擦; 润滑; 有序超薄膜;
入库时间 2023-07-24 19:35:21

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