超净环境下垂直升降机构的设计

摘要

在洁净度100级环境中,根据洁净、行程、空间等要求,选定"伺服电机+滚珠丝杠+滚动直线导轨"的驱动方式垂直提升重物.采用两根滚珠直线导轨副克服重物偏载对滚珠丝杠的弯矩.分析计算了滚珠丝杠的轴向栽荷、强度、刚度、稳定性和升降机构的整体受力模型,与Ansys workbench对机构进行的建模及应力应变分析结果进行了比较.研究了运动部件的润滑脂对超净环境的影响.