液体静压电主轴回转精度测量与结果分析

摘要

为解决高精密液体静压电主轴回转误差难以精密测量与分离的问题,提出了一种主轴回转精度测量与分析的新方法.以液体静压电主轴为测量对象,设计一套以电容微位移传感器为基础,以VC++和Matlab为软件平台的主轴回转误差测量系统,采用自为基准原理,以机床精车后的工件代替传统的检验棒进行直接测量,利用频域三点误差分离法,对主轴回转误差和圆度误差进行测量与分析.实验表明该系统能对高精密主轴回转误差进行测量,在转速(0～600)r/min范围内,该主轴的回转误差为0.28μm.