新型耐高压电涡流位移传感器的研究

摘要

常用的电涡流位移传感器线性范围小且不耐高压,因此不能应用于电液伺服阀的阀芯位置检测,而差动变压器式位移传感器的频响相对较低,本文提出一种高频响、耐高压电涡流位移传感器结构,理论仿真和实验结果表明:该位移传感器具有良好的线性度、重复性和较高的频响,适用于高性能电液伺服阀和比例阀的阀芯或短行程液压缸活塞的位置检测.