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电子束精整加工的真空系统设计与研究

         

摘要

抽真空效率对电子束的整个加工时间起着决定性的作用.在分析系统要求的基础上,设计出真空系统原理图,制定出真空系统的工作流程,并介绍此真空系统的特点.设计出真空系统的控制原理图,制造出真空装置并进行实验.结果表明该系统适用于电子束加工.

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