多维色谱技术检测电子气SF6中10种痕量杂质的研究

摘要

使用多维气相色谱,通过反吹、中心切割等操作技术,对六氟化硫电子气中的10种杂质检测进行了方法开发,并系统地描述了三种电子气检测方法的开发过程和经验技巧,方法重复性好、检测效率高,可作为标准操作规范向社会开放共享.