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窦明洪;
无;
氯化氢 ; 气体 ; 制备; 高纯气体 ;
机译:缩回:高,W.,等。探索在纯N 2等离子体中制备的相纯立方氮化硼薄膜的生长窗口。涂料2018,8,82,doi:10.3390 / coatings8020082
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