高纯气体

摘要： 1《洁净与空调技术》是以洁净技术为主要报道内容的、公开发行的科技期刊。由国家开发投资公司主管。中国电子工程设计院有限公司、中国电子学会洁净技术分会联合主办。本刊以应用技术为主,兼具学术性和信息性。报道国家有关建筑节能及环境保护等重大技术政策。内容涉及洁净室技术、洁净室各系统及辅助系统,如洁净室、建筑装饰,空调系统、高纯水、高纯气体制备及其输配系统,洁净系统检测、监控系统等方面的国内外最新科技成果、学术论文、设备开发、工程设计、施工和运行管理经验、相关行业标准、规范实施情况,以及国内外学术动态与活动,产品市场信息等。

摘要： 高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NO_(x)同步高精度测量系统,通过标定实验可知,该测量系统具有高线性度(R^(2)=0.99967)、高灵敏度、低检测下限(约25 ppt,1 ppt=10^(–12))、易操作性等优势;同时,综合考虑不同背景气体对荧光、磷光的淬灭效应,建立不同高纯气体中NO_(x)测量方法,并利用该探测系统对实验室常用4种高纯气体(Ar,O_(2),CO_(2),N_(2))中ppb量级的氮氧化物进行测量,结果表示CO_(2)中的NO含量最高,约为9 ppb(1 ppb=10^(–9)),其他高纯气体中的NO含量较低,仅有0—4 ppb,4种高纯气体的NO_(2)含量均较低(<6 ppb);最后结合气体制备及提纯方式对高纯气体中杂质NO_(x)含量进行评价及分析,旨在为燃料电池、半导体器件制备等尖端科技领域提供可靠的杂质气体成分诊断方法和数据基础.

摘要： 1《洁净与空调技术》是以洁净技术为主要报道内容的、公开发行的科技期刊。由国家开发投资公司主管。中国电子工程设计院有限公司、中国电子学会洁净技术分会联合主办。本刊以应用技术为主,兼具学术性和信息性。报道国家有关建筑节能及环境保护等重大技术政策。内容涉及洁净室技术、洁净室各系统及辅助系统,如洁净室、建筑装饰,空调系统、高纯水、高纯气体制备及其输配系统,洁净系统检测、监控系统等方面的国内外最新科技成果、学术论文、设备开发、工程设计、施工和运行管理经验、相关行业标准、规范实施情况,以及国内外学术动态与活动,产品市场信息等。

摘要： 高纯气体具有组分稳定,无尘、无水滴、无油污的特点,为流量测量和流量计的稳定运行创造了良好的条件.通过对比差压式流量计和热式质量流量计的工作原理及在高纯气体实际测量中的应用,介绍了选用两种流量计的条件,分析了差压式流量计和热式质量流量计在实际测量中存在的误差原因,并给出了相应解决方案.

摘要： 传统的高纯气体充装大多由"一"字型充装排与抽真空系统组成.这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题.重点针对上述问题在充装前氮气置换、抽真空,以及产品充装等一系列工作实施自动控制、精准充装方面进行了探讨,结合实际工作开发出了一套高纯气体自动化充装系统.

摘要： 传统的高纯气体充装系统大多为由一字排与抽真空系统组成的手动充装系统。手动充装系统存在操作烦琐、工人劳动强度大、充装后产品纯度稳定性差等问题。为解决上述问题,提高充装气体的质量和效率,开发了一套高纯气体自动充装系统。介绍高纯气体自动充装系统的流程、结构、控制系统和应用效果。

摘要： 超纯气体、高纯气体的检测分析是痕量分析学科的一个分支.其是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科.随着我国经济的高速发展,对超纯气体、高纯气体不仅在数量上、质量上、种类上不断地提出新的要求,而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究、研制与生产都提出了更高的要求.经过多年的研发,采用脉冲放电氦离子化检测器,六阀六柱气路分析流程,运用中心切割和反吹分析技术,各组分检测限可达10-9级别,这一方案的研发设计有效的指导生产工艺的控制与改革,确保产品质量.

摘要： 主要概述了高纯气体中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氢化合物含量的测试方法、原理、分析注意事项,并就当前化验工作现状,归纳出了微量杂质分析存在的不足以及今后的发展重点.

摘要： 高纯气体中容积钢质无缝气瓶(下文统一简称为高气瓶)在现代工业中得到了广泛应用,其应用效果会受高气瓶性能的影响.因此,在对高气瓶进行应用时,要定期对其进行检查,对其性能进行明确,保证在对其应用过程中不会发生安全事故.

摘要： 精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一.高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染.通过分析颗粒物来源,从材料的纯化、表面处理、阀门和过滤器选型、焊接质量控制、管道安装、预制加工作业环境的洁净度控制几方面提出颗粒物防治措施建议.

摘要： 我国关于水分计量工作开始很早，20世纪60年代以前气象部门已经开始了湿度计量工作，后来各计量部门陆续建成了许多标准湿度发生装置，然而，由于20世纪我国在高新技术领域发展较慢，对高纯气体要求较小，对离纯气体中低含量水分的测量需求不迫切，因此在超低湿（霜点温度在-75°C以下，水分含量在1μL/L以下）即微痕量水分领域的工作发展较慢，相关标准没有建立，我国目前已有一些痕量水分发生装置，但这些装置发生水分的数值都处于较高的范围。

摘要： 对光纤生产行业高纯气体中微量水的两种检测方法的原理和相关仪器的技术性能进行了介绍,并对两种检测方法在实际检测过程中进行管道改进优化措施.

摘要： 介绍高纯气体气瓶结构类型,制造工艺以及使用特点.简述了国内目前不同结构类型气瓶检验方法,以及目前检验方法对于高纯气瓶检验存在的问题.结合国外高纯气瓶检验方法以及高纯气瓶失效模式,制定适应于不同结构高纯气体气瓶的检验方法,该检验方法对于高纯气体气瓶检验具有科学性和经济性.该类型检验方法实施,有效保障高纯气体气瓶安全运行.

摘要： 脉冲放电氦离子化检测器作为一种通用型检测器,对几乎所有气体组分均具有很高的灵敏度.中心切害技术通过对气体的切割,可有效分离低含量待测组分,防止底气干扰.二者的结合可较好的用于对高纯气体中痕量杂质测定.本文以He、N2、Ar三种高纯气体分析为例,阐述了中心切割技术及脉冲放电氦离子化气相色谱技术的应用,并对操作过程中可能遇到的问题进行了讨论.通过对He、N2、Ar三种高纯气体的分析显示:(1)本文描述的色谱系统具有较好的重复性，但对于峰面积很小的组分,重复性较差;(2)PDHID对高纯气体中的无机杂质具有很好的响应;(3)中心切割技术对气体的分析具有很好的效果,尤其是对于色谱载气以外的气体可以显著减少底气信号对谱图的影响,提高分析速度及灵敏度.需要注意的是,在使用中心切割时,需要设置合适的阀开关时间,确保待测物完全分离出来,通常在实际操作过程中需设置多个时间组合,观察目标物峰面积的变化.

摘要： 叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳,压电晶体法分析超纯气体,光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法,通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行,能满足产品生产监测的需要.

摘要： 在众多的气体生产当中，原料、产品及过程控制对水分都有一定的要求，特别是特种气体、电子气体及高纯气体对水分的要求更加严格。微量水分的检测一般均使用专用的仪器来完成，其原理及种类众多，有经典基准的镜面露点法、绝对量值的电解法、快速响应的电容法、测量灵敏度高且范围宽广的晶体振荡法，以及各种光学吸收法和气相色谱法等。但在线水分检测仪应用最广的主要有3种类型:电解式;电容式;晶体振荡式。这3种原理的分析仪器生产厂家及型号众多，其精准性、应用范围、维护特点各有不同，不能一概而论。

摘要： 气体的分离和纯化是研发和生产高纯气体、高纯特种气体的重要步骤,目前,涉及气体的分离与纯化技术有低温精馏、吸收、吸附和扩散等.本文结合华特气体公司在高纯气体的研发和生产过程,浅谈有关气体的低温精馏和低温吸附技术,提出低温精馏优于低温蒸馏,并通过低温吸附获得高纯气体、高纯特种气体.

摘要： 建立了一种新型碳分子筛(CST)微填充柱分析高纯氮中杂质组分的方法,该方法利用一根色谱柱完成高纯氦中所有杂质组分的分离,简化了分析气路流程,结果表明该方法具有重复性好(＜2％),操作简便等特点.探讨应用CST柱作为预柱在不同气体分析中的可行性,通过CST与PQ柱作为预柱的对比实验表明CST柱解决了PQ柱对低浓度氧气不可逆吸附的问题,对NH3、SF6、SiH4等气体分析应用表明CST柱作预柱在基流稳定性和氧气分析方面较PQ柱有一定优势,但是也存在可能会与某些特定基底气反应及无法预分离等问题.

摘要： 四氢硼钠转化柱在一定条件下可将气体中的微量水转化成氢气,采用氧化锆气相色谱法测定氢气的含量,从而得出气体中水含量。此方法在一定条件下反应快速、完全、重现性好。而使用氧化锆气相色谱法测定氢气样品消耗少、灵敏度高的优势。

摘要： 本文利用放电氦离子化检测器实现了各种高纯气和配制不同标准气的分析.此仪器通过中国计量科学研究院检定合格，并给出了仪器的分析不确定度小于3%，从分析情况可以看此类型的仪器的灵敏度比较高，重现性比较好，线性范围也比较宽，只要了解它的工作原理、气路上的配制，操作上非常容易的。

摘要： 本发明公开了一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，该方法在低温下吸附脱除原料气中的杂质气体，制取纯度高于99.99％的高纯、超纯产品气，再生时，使用真空泵对吸附器进行抽空，在抽空的同时，向吸附器内引入少量的杂质组分含量低的气体，对吸附剂进行再生，再生时吸附器的温度不会明显上升。本发明的低温吸附方法，再生过程中无需刻意对吸附器进行升温，避免了吸附器频繁升温降温带来的大量能量和物料消耗，具有操作简单，能耗低，装置适于长时间连续运行的优点。

摘要： 本发明公开了一种用于高纯特种气体包装物的内壁处理方法及用于高纯特种气体的包装物。本发明通过对气瓶进行清理、喷砂、喷涂前处理、底漆喷涂、中漆喷涂、面漆喷涂、多次喷涂、烧结后,清洗、烘干等步骤后获得可用于高纯特种气体包装物。本发明具有工艺流程简单，易实现流程控制和工业化；所获得的包装物具有优良的内部环境稳定性，可以应用于Cl2、HCl、HF、F2或F2/N2混合气等腐蚀性的高纯特种气体的包装，提高了上述高纯特种气体在包装物的质量稳定性；所获得的包装物具有优良的耐腐蚀性，应用于Cl2、HCl、HF、F2或F2/N2混合气等腐蚀性高纯特种气体的包装，提高了上述高纯特种气体在包装物的使用期限。

摘要： 在容器中分别进行至少一次步骤(1)将氟镍化合物加热以释放氟气体、步骤(2)使氟气体包藏在氟镍化合物内以及步骤(3)将氟镍化合物加热并降低内压，随后在步骤(1)中获得高纯氟气体。此外，在其表面上具有形成的氟化层的容器中，分别进行至少一次步骤(5)将氟镍化合物加热并将降低内压和步骤(6)使氟化氢含量降低的氟气体被包藏到氟镍化合物内，并进一步进行步骤(5)，然后将含不纯物的氟气体与氟镍化合物接触以固定并除去氟气体，和通过气相色谱分析不纯物。

摘要： 本发明公开了一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，该方法在低温下吸附脱除原料气中的杂质气体，制取纯度高于99.99％的高纯、超纯产品气，再生时，使用真空泵对吸附器进行抽空，在抽空的同时，向吸附器内引入少量的杂质组分含量低的气体，对吸附剂进行再生，再生时吸附器的温度不会明显上升。本发明的低温吸附方法，再生过程中无需刻意对吸附器进行升温，避免了吸附器频繁升温降温带来的大量能量和物料消耗，具有操作简单，能耗低，装置适于长时间连续运行的优点。

摘要： 本发明涉及一种高纯及超纯气体高保真取样装置，包括耐高压储气瓶、真空发生器、三通阀、第一微量调节阀、第二微量调节阀、压力表以及第一至第四管路；还公开了其取样方法，通过三通阀的切换使得第四管路与第二管路相通，利用真空发生器将样品气作为引射介质形成负压区，将耐高压储气瓶内的空气吸走从第四管路排出，形成较低的真空度，实现抽真空置换过程；通过三通阀的切换使得第四管路与第三管路相通，实现进气采样过程；将取样装置第一管路与分析仪器连接，打开微量调节阀调节进样完成分析过程。本发明只需一次真空置换即可完成采样，提高了分析效率，瓶内真空度量化，提高了平行采样的一致性，抽真空过程无需电耗，适合无电野外环境等，扩大了适用范围。

摘要： 本发明公开了一种高纯气体增压及气体流量智能控制泵，包括相配合的底座组件、变频减速电机，在底座组件上方的下缸盖与上缸盖组件之间还设置有相配合的隔膜组件；所述隔膜组件被配置为包括在空间上呈相对设置的上隔离件、下隔离件，以及设置在上下隔离件之间的多层第一膜片；其中，各层第一膜片在空间上具有与上缸盖组件、下缸盖中各型面相适配的曲面结构，各层第一膜片被配置为采用可塑性变形的材料制备以得到，其厚度配置在0.05‑0.1mm之间，第一膜片的数量配置为8‑10片。本发明提供一种高纯气体增压及气体流量智能控制泵，用于克服现隔膜压缩机的缺点，通过优化的结构设计以实现降低能耗、降低泵的泄漏率，提高气体压缩能力、延长使用寿命等目的。

摘要： 本发明涉及气体重量检测技术领域，尤其涉及一种高纯气体钢瓶内气体重量检测装置。本发明提供一种具有夹紧功能的高纯气体钢瓶内气体重量检测装置。一种高纯气体钢瓶内气体重量检测装置，包括有支撑台、支撑杆、刻度盘、指针和转动架等；支撑台顶部中间连接有两个支撑杆，前侧的支撑杆前部上侧连接有刻度盘，刻度盘中间转动式连接有指针，指针与两个支撑杆转动式连接，指针上设有转动架。本发明通过人们手动向外侧移动压紧架，随后人们将钢瓶放置在放置架上，放置完成后，人们松开压紧架，使得压紧架向内侧移动对钢瓶进行夹紧，以此实现了夹紧的效果，避免了发生侧翻。

摘要： 本实用新型公开了一种高纯气体充装管道置换安全装置，涉及安全防护技术领域，主要解决气体生产充装过程中倒瓶伤人的问题，包括装置主体、第二固定板及固定装置，所述装置主体的上下两端对称设置有连通的连接通道，所述连接通道的一端与连接板相连通，所述连接板的左右两侧对称设置有固定连接的第一固定板，所述连接板与第二固定板螺栓连接，所述第二固定板的底部设置有固定装置，所述固定装置包括了第一铰接环、第二铰接环、第一橡胶层及第二橡胶层，本实用新型结构简单，实用性强，本装置能够有效与管道、钢瓶固定连接，同时自动化控制降低了人为因素的误差，准确可靠。

摘要： 本实用新型提供了一种普纯液化气体制取高纯液化气体的装置及冷能回收系统，涉及能量利用领域。该普纯液化气体制取高纯液化气体的装置包括换热器、增压机和第一净化系统，换热器上设置有普纯液化气体气化通道和高纯气体放热通道，增压机的入口与普纯液化气体气化通道的出口连通，增压机的出口与第一净化系统的入口连通，第一净化系统的出口与换热器上的高纯气体放热通道的入口连通。可以将原料气化的冷量进行回收，增压后的普纯气体净化得到的高纯气体能够吸收原料气化冷量转变为液体，无需外供冷量。该冷能回收系统包括上述普纯液化气体制取高纯液化气体的装置，简化工艺，能够高效地回收利用冷能，提升经济效益和减少投资。

摘要： 本实用新型涉及气相色谱仪分析用分子筛填充柱，公开了基于高纯、超高纯气体微量杂质组份分离的分子筛填充柱，包括不锈钢管体（2）、色谱分析用担体（4）和硅烷化玻璃纤维（3），所述的不锈钢管体（2）的管体内腔（6）的两端安装有硅烷化玻璃纤维（3），色谱分析用担体（4）设置在两端的硅烷化玻璃纤维（3）之间。本实用新型结构合理而实用，具有柱效高、分离特性好、色谱柱基流本底值低，基线噪声小等优点。