高纯氯气中痕量水的分析

摘要

众所周知,由于氯对水的亲和力极强,测定氯中水含量是比较困难的,而测定氯中痕量水尤为困难。目前,尽管国际上各特种气体生产厂家的电子级氯气的技术指标不完全一致,但对含水量的要求都比较严格。最先进的技术指标是1987年美国半导体设备与材料学会(SEMI)公布的氯气纯度为99.9961％,其中,水含量小于3vpm。有关氯气中痕量水的分析方法。