提高露点法测定高纯气体中痕量水灵敏度的初探

摘要

从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。