大阪大学甲硅烷气体爆炸事故的调查

摘要

1 前言 1991年10月2日16点,大阪大学基础工程系在使用等离子气化学汽相淀积装置实验时发生了爆炸,死亡学生2人,轻伤5人。由于该事故发生在学校,死亡者是学生,所以,有关人员受到了很大冲击。通商产业省对此非常重视。