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吸气剂对电子特气氢、氩中杂质脱除机理及应用

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研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机理及采用吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果.

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来源
《低温与特气》 |2016年第1期|47-49|共3页
作者
高嵩; 赵霖; 刘皖南; 乐昀; 邱长春;
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作者单位

大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116023;

大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116023;

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大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116023;

大连中鼎化学有限公司,辽宁大连116023;

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正文语种 chi
中图分类特种气体;
关键词
吸气剂; 电子特气; 氢气; 氩; 纯化;

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