吸气剂对电子特气氢、氩中杂质脱除机理及应用

摘要

研究了吸气剂对电子特气氢、氩气纯化的基本原理,着重叙述了吸气剂的机工艺流程，采用两个吸附反应器对原料气进行纯化，每个吸附反应塔都内装有高效脱氧干燥剂，可以深度脱除气体重的氧、水、CO2,碱等杂质，吸附剂吸附饱和后可加热通氢使其再生，两个吸附器全自动交替工作、再生，可以实现连续产气，吸气剂纯化器大幅度提高气体指标、保障产气纯度的效果.