基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响

摘要

以电子束及电阻热蒸发镀制的TiO_2、ZrO_2、SiO_2、MgF_2、ZnS等单层膜及TiO_2/SiO_2多层膜为例,实验研究了熔石英(SiO_2)、蓝宝石(Al_2O_3)以及氟化钙(CaF_2)等不同基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响,结果发现,对单层膜及增透膜,基板材料对损伤阈值有较为显著的影响,其一般规律是阈值随基板热导率的提高而提高,而对高反膜,基板材料则无甚影响。文章结合体/面吸收研究以及损伤瞬态行为分析,用局部吸收导致热破坏这一机理,较好地解释了上述现象。