迈克耳逊激光干涉仪的数字测角技术

摘要

介绍了一种利用迈克耳逊干涉仪进行精密角度测量的角度测量系统,该系统利用迈克耳逊干涉仪的干涉技术,通过转换将角位移转换为干涉仪可以利用的线位移,并通过专用电路对干涉条纹进行细分、计量,从而实现了对大转角的精密测量.与以往类似系统相比,该系统克服了测量误差随测量角度增大而增大、测量范围小等不足,具有测量精度高、测角范围大、数字化程度高等特点.同时,给出了系统的构成原理、设计注意事项和有关的精度分析.