脉冲激光沉积薄膜技术研究新进展

摘要

脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广、最有希望的制膜技术.陈述了其原理、特点、研究方法,总结了超快脉冲激光、脉冲激光真空弧、双光束脉冲激光沉积等最新的PLD薄膜制备技术研究进展.