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王勇; 廖延彪; 田芊; 张敏; 章恩耀;
清华大学电子工程系 北京 100084;
清华大学精密仪器系 北京 100084;
波长扫描; 光纤干涉仪; 绝对距离; 动态测量;
机译:波长调谐干涉法用余量法进行不连续表面测量,校正扫描非线性
机译:用波长扫描干涉法和相移法测量半导体掩模玻璃的光学厚度分布
机译:使用具有脉冲位置调制方案的光纤光栅法布里-珀罗干涉仪增强光纤传感器的动态范围:补偿源波长-扫描非线性
机译:波长扫描干涉法通过波长扫描表面的表面形状测量
机译:空间外差光谱法:无需扫描即可在任何波长下进行干涉测量。
机译:合成波长和单波长超外差干涉法测量大范围模糊度和高分辨率的光学加速度
机译:使用波长扫描干涉测量法进行快速表面测量
机译:软X射线波长的点衍射干涉测量法。
机译:用于物体扫描的低相干干涉测量设备具有可变波长选择设备,该可变波长选择设备用于根据扫描位置改变检测光束的选定波长
机译:两种波长的白光干涉法和干涉法测量不同金属材料的台阶高度
机译:波长扫描干涉法和采用激光二极管的干涉仪
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