激光诱导液相腐蚀及其应用

摘要

激光诱导半导体的液相腐蚀具有常規半导体腐蚀工艺所无法比拟的某些优点。本文介绍了这种新腐蚀技术的基本原理,主要特点,并举例说明了它的应用。