表面粗糙度干涉仪中光探针的自动聚焦控制

摘要

要保证测量光聚焦在待测表面，自动聚焦控制是非常重要的。文中给出了基于离焦检测的自动聚焦控制原理和技术实现，其聚焦灵敏度达０．１μｍ，聚焦范围０．５ｍｍ，频带宽度为４０Ｈｚ。它为表面粗糙度干涉仪的高分辩率测量提供了保证，并为实验所证实。该技术具有很强的实用开发价值。