首页> 中国专利> 任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统及匀化方法

任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统及匀化方法

摘要

为了解决VISAR探针光照明的均匀性问题,本发明提供了一种任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统,包括光纤输出激光器、准直镜头和缩束镜;准直镜头设置在光纤输出激光器的输出光路上,并且准直镜头的焦面位于光纤输出激光器的光纤端面处;缩束镜包括缩束镜前组和缩束镜后组;缩束镜前组设置在准直镜头的输出光路上;缩束镜后组设置在缩束镜前组的输出光路上,并且缩束镜前组和缩束镜后组的焦面重合,构成开普勒望远镜结构。所述光纤端面的光纤芯径D

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01S17/58 申请日:20161230

    实质审查的生效

  • 2017-05-10

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号