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自动测量超光滑表面微分散射的微分散射仪

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摘要

介绍一种对超光滑光学基片及光学膜片表面进行微分散射分布自动检测的微分散射仪.对散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述.该仪器已经工程化,正为激光陀螺的研制、生产服务.

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来源
《激光与红外》|1999年第6期|347-349,355|共4页
作者
吴军辉; 龙兴武;
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作者单位

89820部队,洛阳,471003;

国防科技大学应用物理系,长沙,410073;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
微分散射; 表面粗糙度; 检测仪器; 激光陀螺;
入库时间 2023-07-25 12:54:09

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