光刻系统实验教学平台搭建及课程开展

摘要

目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验.大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、 搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要.介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、 课堂组织、 注意事项.此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案.