TiO2种子层对(Pb,La,Ca) TiO3薄膜织构的影响

摘要

利用脉冲激光法(PLD)制备了镧钙掺杂的钛酸铅(Pb0.8La0.1Ca0.1) Ti0.975O3(PLCT)热释电薄膜,通过广角X射线衍射(XRD)研究了薄膜的相组成,利用X射线镜面反射表征TiO2种子层的厚度,通过X射线衍射及ω扫描研究了TiO2种子层对薄膜晶体学织构及其弥散程度的影响.结果表明,合适的晶化温度可以获得纯钙钛矿相的PLCT热释电薄膜.种子层的引入改变了薄膜的织构类型,无种子层时,薄膜倾向于形成(100)织构;而引入TiO2种子层则有利于薄膜(301)织构的形成.