用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制

摘要

陶瓷环高阻膜作为简镜分析器避免边缘电场效应的重要部件，其质量对电子能量分析器的性能有很大影响，本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理，制成时间稳定和温度稳定的高阻膜，经测试性能良好，并已实用于俄歇电子谱仪中。