电子能谱仪中筒镜分析器及其相关部件的维修

摘要

筒镜分析器(CMA)是俄歇电子能谱(AES)装置或AES同X射线光电子能谱(XPS或称ESCA)联合装置的关键部件。本文以ESCA/SAM550电子能谱仪中由于CMA故障,造成仪器没有AES和ESCA信号响应为例,介绍一种基本故障分析方法以及CMA和同轴电子枪等部件的维修保养经验。