硅中的氮氧复合物及其施主行为

摘要

含氮ＣＺ硅的电学性能完全有别于含氮的ＦＺ硅和无氮的ＣＺ硅，研究表明，含氮ＣＺ硅能形成一种与氮有关的新施主，它随氮氧复合物的形成而形成，随氮氧复合物的消失而消失，文章进一步研究了氮－新施主的形成和消除与热处理条件的关系，并对这些实验结果进行了探讨。