激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究

摘要

探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置.在恒温恒湿实验室中,分别以7000、10000和13000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283388.8、285830.9、286533.2 μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36 μm.结果表明:选取7000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确.