数字微镜阵列微立体光刻系统光路仿真与应用

摘要

提出了一种基于数字微镜阵列的微立体光刻系统,并在COMSOL Multiphysics软件中进行了系统光路的建模与仿真。在分析微立体光刻系统的技术原理与组成元件基础上,建立了微立体光刻系统的完整光路仿真模型。最后,搭建了一套基于数字微镜阵列的微立体光刻系统,实现了水凝胶的个性化定制加工以及批量动态制造。