关于MOCVD多参数在线光学传感器装置的研究

摘要

提出一种基于双色同轴多光束阵列的多参数在线光学传感器,该传感器可进行多层膜的各种单晶、多晶和非晶结构材料镀膜过程的现场生长率和应力等参数的测量,与计算机自动控制系统相结合,可以实现镀膜工艺过程的闭环生产,达到提高产品质量的目的.