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基片变形法测量薄膜应力分析

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摘要

总结了薄膜应力的一些测量方法.分析了利用测量基片弯曲曲率变形分析法的理论依据及其测量原理,计算了激光干涉法,激光束偏转法的测量精度,分析了其优缺点.

著录项

来源
《扬州教育学院学报》 |2009年第3期|12-14|共3页
作者
方小坤; 刘丹;
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作者单位

扬州职业大学,江苏,扬州,225009;

扬州职业大学,江苏,扬州,225009;

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正文语种 chi
中图分类各种形状制品;
关键词
激光; 薄膜; 应力; 曲率; 测量;

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