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激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究

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摘要

用激波理论推出了激光诱导等离子体化学气相淀积过程中两个重要参量薄膜面积、膜淀积速率的表达式.分析了激光强度、气体压强、基片温度对淀积过程的影响,为最佳淀积条件的选取提供了理论依据.

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来源
《西华大学学报（自然科学版）》 |2001年第4期|66-67|共2页
作者
张贵银; 荆一东;
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作者单位

华北电力大学,河北,保定,071003;

华北电力大学,河北,保定,071003;

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正文语种 chi
中图分类 0532.25;
关键词
等离子体; 气相淀积; 薄膜面积; 淀积速率;

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