用激光喇曼光谱分析研究半导体中杂质

摘要

用杂质振动喇曼散射和电子喇曼散射研究半导体中杂质,结果表明:杂质喇曼散射可以作为强有力的技术检测半导体的杂质和估计掺杂浓度,使用这种非破坏性的检测方法具有很好的空间分辨力(几个μm^2),而且共振杂质喇曼散射有极高的检测灵敏度,可达10^(-9)的数量级。