脉冲多弧离子源引弧效率的定量检测与过程控制

摘要

介绍了一种应用于脉冲多弧离子源镀膜过程的电子监控装置。用该装置定量检测冲多弧离子源的引弧效率，克服因停弧带来的膜厚误差的缺点，本文主要叙述了该装置的工作原理及关电路。