硼掺杂对α-Fe_2O_3-K_2O湿敏半导体陶瓷结构与性能的影响

摘要

用硬脂酸凝胶法工艺合成不同配比的α Fe2 O3 K2 O B2 O3复合氧化物超微粉 ,经液相烧结法制得多孔陶瓷材料 .采用XRD技术、Archimede排水法及压汞法等研究了材料物相、晶粒度及微孔结构 ;电导测试实验表明 ,B2 O3掺杂相可能以非晶态均匀包覆在主晶相晶粒表面及晶界处 ,K+被吸收包埋在B2 O3非晶相中 ;湿敏特性测试结果表明 ,硼掺杂 5% (摩尔分数 )左右 ,全湿区内材料阻 湿特性曲线线性关系良好 ,且感湿灵敏度较高、湿滞小 ,改变掺杂配比 ,可获得不同湿敏转变点的阻 湿特性曲线 ;初步探讨了材料多孔结构与湿敏性能之间的关系 ,得出通过硼掺杂调控材料微结构 ,可明显提高材料湿敏性能稳定性的结论 .