ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计

摘要

采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。