超精密机床的主动隔振系统研究

摘要

本文以HCM-I型亚微米超精密车床为研究背景,在分析了机床结构与振动的基础上,建立了机床主动隔振系统的力学模型 .通过几种作动器的性能对比选择了磁致伸缩作动器为执行器.通过反馈控制分析和实验, 表明:采用主动隔振可以明显提高机床减振性能,尤其对低频隔振效果较好.