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郭汉明; 陈家璧; 李湘宁; 庄松林;
上海理工大学,光学与电子信息工程学院,上海,200093;
光存储; 有效光斑; 光学切趾术; 光瞳环带相位调制;
机译:通过基于图像的方法测量EUV光刻光瞳振幅和相位变化
机译:使用线性光瞳平面相位元素降低焦平面阵列中激光损坏的风险
机译:基于随机相位光瞳的基于光学扫描全息的平行透明板平行度的创新测量
机译:光瞳调制差分相位对比方法中使用多点源的相位测量空间分辨率的提高
机译:光学成像系统的广义光瞳像差
机译:具有嵌入式校准和相位校正的数字光相位共轭的实现
机译:相位光瞳功能可减少散焦和球差
机译:虚拟现实光学配置中小出射光瞳的影响
机译:通过聚焦补偿,光瞳图像分割和平行光瞳重排提高多光子显微镜系统的检测效率的设备
机译:用于投影曝光系统的照明光学单元,具有光瞳刻面镜,该光瞳刻面镜被设置为使得内部组中的光瞳刻面的数量被设置为与外部组中的光瞳刻面的数量不同。
机译:用于投影曝光系统即EUV投影曝光系统的照明装置,具有使光透射到场镜和光瞳镜的光源,以及形成在光瞳镜的不同位置和光区域的场镜。
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