基于表面等离子体波共振技术的精密角度传感器

摘要

为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题 ,分析了表面等离子体波共振 ( SPR)的相位和振幅特征 ,根据共振角附近 SPR的相位对入射角的高度敏感性 ,提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法 ,它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点。研制了实验装置并进行了测角实验 ,测量分辨率达 1.4× 10 -7rad,长期稳定性偏差为 4.8× 10 -7rad。该方法可满足纳米机械的测角要求。