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蔡田; 张鸣; 朱煜; 胡金春;
清华大学精密仪器与机械学;
摩擦学国家重点实验室;
北京100084;
超精密工件台; 误差建模; 静压气浮轴承;
机译:一种新方法,可直接从超精密加工中的工件表面形貌识别几何误差
机译:使用旋转圆柱工件测量超精密金刚石车床的滑动误差
机译:滑动测量误差的一个超精密通过使用一个旋转的金刚石车床圆柱工件
机译:气浮轴承超精密定位台的动力学分析
机译:使用二维激光标尺系统的超精密机床动态运动误差补偿的研究。
机译:超精密飞切削加工的KDP晶体工件表面的形貌分析
机译:超精密非球面磨削位置误差的仿真建模
机译:精密定位系统气浮模拟的缩放技术
机译:超精密线性位移台运动误差的测量方法及其测量装置
机译:超精密线性级的误差测量方法及误差测量装置,其能够通过比较滚动误差而间接地验证测量精度
机译:精密机器,超精密或精密机器和工件的参考变量的计算方法
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