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乔非; 李莉; 陈康民; 黄丹;
同济大学CIMS研究中心;
上海贝岭股份有限公司;
半导体制造; 调度结构; Petri网; 分层的;
机译:基于Petri网的多项式复杂方法在半导体制造中混合多集群工具的一晶圆最优循环调度。
机译:半导体制造中基于Petri网的单臂多集群工具最佳单晶片调度
机译:基于Petri网的半导体制造工艺调度策略
机译:基于彩色Petri网的半导体生产线分层调度模型
机译:基于Petri网的常规制造车间在线调度系统。
机译:纳米结构半导体的设计制造和光催化用途:专注于基于TiO2的纳米结构
机译:基于拉格朗日松弛的半导体晶圆制造分层生产调度环境设计
机译:基于petri网的调度
机译:制造基于氮化镓的复合半导体发光元件,分层结构的基于氮化镓的复合半导体元件,基于氮化镓的复合半导体发光元件以及灯的方法
机译:基于Petri网的树状混合多集群工具的最优单晶圆循环调度。
机译:基于Petri网的晶圆时间受限单臂机群工具调度。
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