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钕掺杂氧化锌薄膜的形貌分析

     

摘要

通过XRD和AFM分析了Nd掺杂ZnO薄膜的表面形貌,表明随着Nd掺杂量的增加,ZnO薄膜的结晶度变差,薄膜表面变得粗糙,晶格畸变增大.

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