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张红霞; 张以谟; 井文才; 周革; 李岩;
天津大学精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;
Mirau干涉; 相移干涉轮廓仪; Mirau干涉物镜; 光纤连接器; 压电陶瓷传感器;
机译:采用新型基于Mirau的横向扫描干涉仪的3-D微表面轮廓仪
机译:使用液晶可变延迟器的偏振敏感相移Mirau干涉术
机译:用于阵列调制Mirau微干涉测量的静电垂直微扫描仪
机译:具有4×4微镜阵列的垂直梳状驱动微扫描仪,用于相移Mirau微干涉测量
机译:用于3D脑腔重建的相移轮廓仪的发展和通过神经外科显微镜的体内荧光体内检测。
机译:用于扫频OCT成像的微机械相移阵列型Mirau干涉仪:设计微加工和实验验证
机译:用于扫描源OCT成像的微机械型相移阵列型Mirau干涉仪:设计,微制造和实验验证
机译:仪器适用于075英寸行程,10微英寸分辨率,微型干涉仪尺寸检测仪
机译:用具有相移的干涉仪测量表面形貌的方法
机译:相移干涉仪测量表面形貌的方法
机译:相移干涉仪及表面形貌测量方法
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