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减压法制备TiO_2薄膜及影响因素的研究

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摘要

主要研究了用化学气相沉积法在减压状态下制备ＴｉＯ２薄膜，当温度和压力改变时，会影响薄膜的沉积率、晶型及表面形貌。并且根据阿龙尼乌斯公式算得在玻璃片上镀膜其表面反应的平均活化能为５７．０８６ｋＪ／ｍｏｌ．

著录项

来源
《太原理工大学学报》 |1999年第5期|505-507|共3页
作者
武正簧; 李文漪; 赵君芙;
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作者单位

太原理工大学化学工程与技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;薄膜技术;
关键词
化学气相沉积; 二氧化钛; 薄膜; 减压法; 制备;

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