钼钨纳米合金膜的制备及其微结构研究

摘要

利用羰基金属气相沉积方法, 在Al2O3陶瓷基片上, 以Mo(CO)6+W(CO)6为源, 制备了MoW纳米合金晶膜. 采用XRD和SEM技术, 并与相同条件制备的Mo膜比较, 研究了MoW合金晶膜的微结构. 结果表明: 该法制备的薄膜是以纳米粒子状态存在、具有超微结构的多晶膜材料.