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多晶硅薄膜晶体管的模拟与分析

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摘要

提出了一个晶粒间界的物理模型,以解释多晶硅薄膜晶体管(TFT)的低载流子迁移率和高阈值电压.研制了多晶硅 TFT 的分析软件包TFTNPE,它包括两维数值模拟器和模型参数提取软件,可以用于多晶硅薄膜器件的分析与设计.

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来源
《东南大学学报：自然科学版》 |1990年第4期|53-59|共7页
作者
何野; 庄庆德;
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作者单位

东南大学微电子中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN321.502;
关键词
薄膜晶体管; 多晶硅; 模拟;

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